说道:“接下来有一项特殊的计划,也就是发布会上提到的EUV光刻机。大家都有判断,如果设备和工艺没有办法继续保持迭代的速度,摩尔定律很快就无法维持住了。燧石科技在着手进行下一代光刻机的研发,也在探索下一代制程工艺的思路。”
“最近,我们有了一些小小的进展,同时也认识到,也许进入到10纳米层级的制程工艺,不能再用传统光刻的思维去攻克难点了,反而需要和材料结构科技结合起来。这一项复杂工程的难度,相信英特尔等企业的朋友们,在参与ASML的EUV光刻机项目过程中,已经感受到了。”
“现在,燧石科技也在此向ASML,还有对EUV光刻机项目感兴趣的企业、资本,一起参与到燧石科技和华国沪海微电子装备的EUV光刻项目研发当中。这次合作研发产生的EUV光刻机全套专利技术,最终将由所有参与方按贡献比例参与知识产权联合运营。”
顾松在聚光灯中诚恳地说:“朋友们,这可能是人类有史以来要研制的最精密的仪器装备之一!我认为,它是一个象征。文明的进一步发展,已经需要展开全球的密切合作。像国际空间站、国际热核聚变实验堆计划、大型强子对撞器计划,都是这一发展趋势的结果。现在,在集