DUV依然采用上一代业已成熟的193nm光源,但增加了浸润式技术,利用液体与空气不同的折射率原理进行光路分割,在原有光源与镜头的条件下,获得了显著提升的蚀刻精度,根据测算,该系统的上限可以做到5nm!
并且,原先购买了“华夏光电”出品的193nm光刻机的厂商,可以获得优惠的技术升级,以安装一个标准套件的方式,方便地升级至最新制程!
一时之间,石破天惊,芯片制造厂商纷至沓来,而“矩阵”实验室和“华夏光电”联手,毫不客气地编织了一张绵密的专利网,将这种新技术牢牢锁死在了自家的抽屉里,在市场和技术两端事实上垄断了浸润式光刻机,同时“华夏光电”用近乎倾销的,贴近上一代光刻机的价格销售该产品,也间接宣判了其他光刻机厂商的死刑。
在诸多国际光刻机厂商感受到了危机之后,华夏部分媒体上忽然多出了很多胸怀天下的人,他们打出了“科技无国界”这一高大上的旗号,或者阴阳怪气,或者明赞暗贬,说什么“技术垄断不利于人类科技进步”,其核心无非就是想让“华夏光电”或者“矩阵”实验室将这种光刻机技术向其他厂商授权,不过不管是“华夏光电”还是“矩阵”实验室全都不为所动,甚至连个应对的申