振华点头道“是的,林博士,你也许知道,在我们“矩阵”实验室,有一个数码光电研究院,而这个研究院院长的位置却一直空缺,实际上,从这个研究院成立的那一天开始,我就打算邀请你加入,只不过那个时候我手上的事情实在太多了,一时没能顾得上。”
林本兼点了点头,沉思了一会儿才道“埃里克,看来你一直在关注着我的研究,那么我能问一下,是什么让你觉得,我的研究一定会有价值呢?那毕竟只是一点理论上的可能,在我接触过的光刻机企业中,甚至没有一个人对此表示出一点点感兴趣的意思,也没人愿意为我的这个设想投入哪怕一个美分的资金。”
“那是因为,资本总是短视的,在“干式”光刻机还能通过不断地缩短使用光源的波长、用制作更加精良的镜头组达到提升制程目地的时候,将这一切都推翻而走另一条技术路径,是非常不合算的投资。”谭振华耸了耸肩膀道“而我却认为,随着光源波长越来越短,其物理特性将变得越来越难以管控,以人类现有的技术,突破某些技术瓶颈也许需要二十年甚至更久,但半导体制造技术却不应该因此而停滞,在比较了几个备选的方案之后,我认为你提出的“浸润式”方案是最有可能获得成功的方案,所以,我愿意为此做出长期的